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DSRD (Die Shift Redistribution)

自动扫描并获取Die上的特征点坐标以及相对位置，同时根据相对位置生成对应图进行后续加工。

所属分类：

DSRD (Die Shift Redistribution)

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产品描述

 

Die shift Redistribution

扫描幅面：

 600mm*600mm(可定制）

标准板定位精由：

±3μm

标准板重复精度：

±2μm

外形规格：

2600mm*2500mm*2300mm

重量：

约3000Kg

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